泰勒霍普森 PGI (Precision Geometric Instrument) 輪廓儀是英國泰勒霍普森公司 (Taylor Hobson) 開發(fā)的高精度表面測量設(shè)備，主要用于表面粗糙度、輪廓形狀、三維形貌和直徑測量，精度可達(dá)亞納米級(jí)(0.01nm)

核心技術(shù)與原理

PGI 技術(shù)全稱 "相位光柵干涉儀"(Phase Grating Interferometer)，是泰勒霍普森的測量技術(shù)，具有革命性優(yōu)勢：

突破性測量能力：可使用短測針測量大垂度 (sag)，實(shí)現(xiàn)高剛度與低測力結(jié)合，大幅提升測量精度和重復(fù)性

工作原理：通過光柵衍射產(chǎn)生的干涉條紋變化精確計(jì)算表面輪廓，將機(jī)械位移轉(zhuǎn)化為光學(xué)相位差進(jìn)行測量，垂直分辨率達(dá)0.01nm，測量線性度達(dá) **±0.1%**

Form Talysurf PGI NOVUS 

雙向測量：獨(dú)特的NOVUS 傳感器在正向和反向以相同精度測量，一次完成上下表面測量

測量范圍：20mm 量程，分辨率 0.2nm，適用于軸承、噴油器、精密零件等多種工業(yè)應(yīng)用

軟件支持：搭載Metrology 4.0 智能軟件，提供虛擬顯示、智能移動(dòng)和變量編程功能，簡化復(fù)雜測量