菲希爾X射線測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心技術(shù)與硬件配置

X 射線源：50 kV/50 W 鎢靶微聚焦 X 射線管（鈹窗口），焦點(diǎn)≤50 μm；高壓三檔可調(diào)（30/40/50 kV）；4 個(gè)電動(dòng)切換準(zhǔn)直器（最小 0.05×0.05 mm，標(biāo)配含 ?0.1 mm、?0.2 mm 等），3 個(gè)自動(dòng)切換基本濾片；比例計(jì)數(shù)管探測(cè)器，兼顧高計(jì)數(shù)率與快速測(cè)量。

定位與觀察：內(nèi)置 500 萬像素彩色視頻顯微鏡，38×–184× 光學(xué)變焦，實(shí)時(shí)顯示測(cè)量點(diǎn)；手動(dòng) XY 工作臺(tái)（行程 30×40 mm），定位精度 ±0.005 mm；測(cè)量方向?yàn)閺南峦?，C 型開槽樣品艙可容納高度 174 mm 的樣品。

軟件與標(biāo)準(zhǔn)：搭載 WinFTM® 軟件（標(biāo)配 LIGHT 版，可選 BASIC/PDM/SUPER），支持 100 組程序預(yù)設(shè)、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、報(bào)告生成與導(dǎo)出；符合 DIN ISO 3497、ASTM B568 及德國 RoV 射線安全法規(guī)。

關(guān)鍵性能指標(biāo)

最小測(cè)量點(diǎn)：約 0.09×0.09 mm（≈?0.1 mm）

精度：Au > 0.1 μm 時(shí)，標(biāo)樣校準(zhǔn)誤差＜±5%；無標(biāo)樣＜±10%；80 nm 金鍍層重復(fù)精度達(dá) 2.5 nm，COV（變異系數(shù)）＜5%

測(cè)量距離：0–27.5 mm 可調(diào)，支持 DCM 距離補(bǔ)償

元素范圍：Cl（17）~ U（92），可同時(shí)分析最多 5 種元素，支持單 / 雙 / 三鍍層、合金鍍層厚度測(cè)量，以及 4 元合金成分分析

樣品參數(shù)：高度 174 mm，XY 工作臺(tái)承重 2 kg；整機(jī)尺寸 403×588×444 mm，約 45 kg