菲希爾X射線(xiàn)測(cè)厚儀XULM240

菲希爾X射線(xiàn)測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心硬件配置

1. X 射線(xiàn)發(fā)射系統(tǒng)

微聚焦鎢靶 X 射線(xiàn)管，鈹窗口，功率50kV/50W，3 檔高壓可調(diào)（30/40/50kV），焦點(diǎn)≤50μm

4 組電動(dòng)自動(dòng)切換準(zhǔn)直器：0.05×0.05mm、?0.1mm、?0.2mm、0.3×0.05mm；最小測(cè)量光斑 0.09×0.09mm（100μm），同系列 XUL210/220 最小僅 0.51mm，微區(qū)優(yōu)勢(shì)明顯

3 片自動(dòng)切換濾片（標(biāo)配：無(wú)濾片、鋁、鎳），可選鈷 / 鎳吸收片適配特殊鍍層

2. 探測(cè)器與成像

比例計(jì)數(shù)管探測(cè)器，數(shù)千 CPS 高計(jì)數(shù)率，薄金層短時(shí)間測(cè)量仍穩(wěn)定

500 萬(wàn)像素彩色工業(yè)相機(jī)，38~184 倍光學(xué)變焦，實(shí)時(shí)可視化標(biāo)記測(cè)量光斑，帶刻度校準(zhǔn)顯示實(shí)際光斑大小

3. 樣品工作臺(tái)與艙體

標(biāo)配手動(dòng) XY 工作臺(tái)，行程 30×40mm，定位精度 ±0.005mm，適合微小引腳、線(xiàn)路定位

下置式 X 射線(xiàn)發(fā)射（射線(xiàn)從下往上打樣），C 型開(kāi)槽大艙體，樣品最大高度 174mm

測(cè)量距離 0~27.5mm 連續(xù)可調(diào)，搭載 DCM 距離補(bǔ)償，高低落差工件無(wú)需反復(fù)校準(zhǔn)

4. 安全與環(huán)境

全屏蔽防護(hù)，通過(guò)德國(guó) X 射線(xiàn)法規(guī)認(rèn)證，日常操作無(wú)輻射風(fēng)險(xiǎn)

工作環(huán)境：10~40℃，濕度≤95% 無(wú)凝露，整機(jī)功耗≤120W