菲希爾FISCHER X射線XULM240

菲希爾X射線測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240關(guān)鍵技術(shù)規(guī)格

X 射線源：50 kV/50 W 鎢靶微聚焦 X 射線管；

準(zhǔn)直器與濾片：4 個(gè)電動(dòng)切換準(zhǔn)直器（最小 0.05×0.05 mm），3 個(gè)自動(dòng)切換初級(jí)濾片；最小測(cè)量點(diǎn)約 0.09×0.09 mm；

探測(cè)器：比例計(jì)數(shù)管，高計(jì)數(shù)率，縮短測(cè)量時(shí)間；

觀測(cè)系統(tǒng)：500 萬(wàn)像素彩色視頻顯微鏡，38×–184× 變焦，可實(shí)時(shí)觀察測(cè)量點(diǎn)；

樣品空間：樣品高度 170 mm，測(cè)量距離 0–27.5 mm 可調(diào)；

精度表現(xiàn)：Au>0.1 μm 時(shí)，標(biāo)樣校準(zhǔn)誤差 <±5%，無(wú)標(biāo)樣 <±10%；80 nm 金鍍層重復(fù)精度達(dá) 2.5 nm，COV<5%；

軟件：配套 WinFTM® 專業(yè)軟件，支持?jǐn)?shù)據(jù)實(shí)時(shí)傳輸、自動(dòng)校準(zhǔn)、統(tǒng)計(jì)分析、自定義報(bào)告導(dǎo)出；

安全：通過型式批準(zhǔn)的全防護(hù)設(shè)備，符合 RoV 等法規(guī)要求。